
產(chǎn)品型號(hào)
廠商性質(zhì)
更新時(shí)間
瀏覽次數(shù)
產(chǎn)品分類(lèi)
| 品牌 | 其他品牌 |
|---|
實(shí)驗(yàn)室無(wú)掩膜曝光機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
數(shù)字光刻系統(tǒng)
微納器件無(wú)掩模版直寫(xiě)光刻
光掩模版制作
3D結(jié)構(gòu)曝光功能
自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能
用戶(hù)自定義標(biāo)記對(duì)準(zhǔn)功能
可視化定點(diǎn)曝光功能
自動(dòng)聚焦功能
不規(guī)則樣片曝光
快速、精細(xì)兩種曝光模式
支持多種數(shù)據(jù)格式(GDSⅡ/ Gerber/ O DB++)
背部對(duì)準(zhǔn)功能(選配)
405nm LD光源(375nm可選)
實(shí)驗(yàn)室無(wú)掩膜曝光機(jī)參數(shù):
| 型號(hào) | MLC Lite | ||
| ModeⅠ | Mode Ⅱ | Mode Ⅲ | |
| 最小特征尺寸 | 0.5μm | 1μm | 2μm |
| 最小線寬線距 | 0.8μm | 1.2μm | 2.5μm |
| CD均勻性 | 10% | 10% | 10% |
| 兩層對(duì)位精度 5x5m㎡ | 500nm | 800nm | 1000nm |
| 兩層對(duì)位精度 50x50m㎡ | 800nm | 1000nm | 1500nm |
| 產(chǎn)能 | 50mm²/min | 100mm²/min | 300mm²/min |
| 最小基板尺寸 | 5mm x 5mm | ||
| 基板厚度 | 0.1 - 12mm(可選) | ||
| 曝光面積 | 150mm x 150mm | ||
| 灰度曝光 | 可選128階 | ||
| 曝光光源 | Laser, 405nm or 375nm | ||
上一篇沒(méi)有了

地址:安徽省合肥市蜀山區(qū)湯口路香馨產(chǎn)業(yè)園
郵箱:317399383@qq.com
掃碼加微信
版權(quán)所有 © 2026 合肥重光電子科技有限公司 備案號(hào):皖I(lǐng)CP備2025086211號(hào)-1
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) 管理登陸 sitemap.xml