程控烤膠機(jī)是一種用于準(zhǔn)確控制烤膠過(guò)程的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域。
程控烤膠機(jī)通常采用電加熱方式,利用電熱合金絲等發(fā)熱材料,將電能轉(zhuǎn)化為熱能。通過(guò)溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)加熱板的溫度,并將數(shù)據(jù)反饋給控制系統(tǒng),控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定的溫度值自動(dòng)調(diào)節(jié)加熱功率,以實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確控溫。
主要結(jié)構(gòu)
加熱部件:是烤膠機(jī)的核心部分,由加熱板、發(fā)熱元件等組成,其性能直接影響溫度均勻性和加熱效率。
電控系統(tǒng):包括控溫儀、繼電器、熱電偶等,用于控制和監(jiān)測(cè)加熱過(guò)程,實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確控溫和程序控制。
機(jī)箱:用于容納加熱部件和電控系統(tǒng),通常采用不銹鋼等材質(zhì),具有良好的耐腐蝕性和散熱性。
核心功能:準(zhǔn)確控溫與智能編程
溫度控制
程控烤膠機(jī)通過(guò)高性能數(shù)顯溫控表與高均勻性發(fā)熱部件(如陽(yáng)極氧化鋁加熱板)實(shí)現(xiàn)溫度準(zhǔn)確調(diào)控。典型控溫范圍為室溫至300℃(部分型號(hào)可達(dá)600℃),控溫精度±0.2℃,溫度均勻性≤±1%,確保薄膜固化、晶圓烘烤等工藝的穩(wěn)定性。
智能編程
設(shè)備配備7寸全彩觸摸屏,支持多組程序存儲(chǔ)(如100組程序,每組5步加熱階段),用戶(hù)可自定義溫度曲線(xiàn)、加熱時(shí)間及頂針高度等參數(shù)。
自動(dòng)化操作
內(nèi)置真空泵與真空吸附功能,可固定基片(如硅片、載玻片)防止移位;電動(dòng)頂針設(shè)計(jì)簡(jiǎn)化上下片流程,提升實(shí)驗(yàn)效率。部分型號(hào)采用獨(dú)立防過(guò)熱電路,確保操作安全。
程控烤膠機(jī)是半導(dǎo)體與納米材料領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備,選購(gòu)時(shí)需重點(diǎn)關(guān)注控溫精度、溫度均勻性及程序存儲(chǔ)能力。實(shí)驗(yàn)室級(jí)用戶(hù)可優(yōu)先選擇性?xún)r(jià)比高的國(guó)產(chǎn)設(shè)備,工業(yè)級(jí)用戶(hù)則需評(píng)估高溫性能與長(zhǎng)期穩(wěn)定性,必要時(shí)選擇定制化方案。