顯影機(jī)是光刻工藝中的核心設(shè)備，其核心作用是將晶圓表面光刻膠經(jīng)曝光后形成的“潛影"（肉眼不可見(jiàn)），通過(guò)化學(xué)作用轉(zhuǎn)化為清晰可見(jiàn)的精細(xì)電路圖形，是半導(dǎo)體芯片制造、精密電子元件生產(chǎn)中連接“曝光"與“蝕刻"的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

顯影機(jī)的工作流程可簡(jiǎn)化為三步：首先，將曝光后的晶圓輸送至顯影腔室；隨后，通過(guò)噴淋或浸泡方式，將顯影液均勻作用于晶圓表面，選擇性溶解未曝光（正膠）或曝光（負(fù)膠）的光刻膠，使?jié)撚帮@現(xiàn)；最后，經(jīng)清洗去除殘留顯影液、烘干固化，形成穩(wěn)定的電路圖形基礎(chǔ)。

其核心結(jié)構(gòu)包括輸送系統(tǒng)（保證晶圓平穩(wěn)精準(zhǔn)傳輸）、顯影系統(tǒng)（控制顯影液溫度、濃度與作用時(shí)間）、清洗烘干系統(tǒng)（提升圖形穩(wěn)定性）及控制系統(tǒng)（實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化精準(zhǔn)調(diào)控）。隨著芯片制程向3nm及以下推進(jìn)，顯影機(jī)正朝著更高精度、更高效率、更智能化的方向發(fā)展，為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的微型化、高密度化提供核心支撐。